Система измерения температуры маски на месте VTMS

Система измерения температуры маски на месте (VTMS) используется для мониторинга и проверки температуры во время написания маски электронным лучом. Поскольку электронно-лучевая запись на масках требует чрезвычайно высокой температурной стабильности в течение длительных периодов времени, VTMS постоянно собирает данные о температуре, чтобы предоставить необходимую информацию для обеспечения термической стабильности системы масок.