Измерение температуры проводной пластины in situ

Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где очень важно понимать и контролировать температуру на поверхности пластины.

Проводная система измерения температуры пластин NTC In Situ обеспечивает высокоточные и надежные методы измерения и мониторинга температуры пластин для улучшения производительности, качества и производительности технологического оборудования.

Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.