Система прецизионного температурного тестирования вакуумной камеры для полупроводникового оборудования (Vac.TEMP)

Имя

Технические характеристики

Стандартное сопротивление

10000 Ом при 25 ℃

Абсолютная точность

≤10、5、1мК

Повторяемость

≤1мК при 30мин、1Гц

Годовой дрейф

<10、5、1мК

Линейная система

4 линии

Упаковка зонда

Цилиндрическая упаковка из 316L или указанная версия, заполненная внутри, не оставляющая воздуха и утечек.

Свинцовый материал

ПТФЭ вакуум

Время ответа

≤1 с

Размер зонда

≤φ2,0*10 мм

Разъем

DB

Вакуумное проходное соединение

Фланец

Свинцовый терминал

Интеллектуальная авиационная розетка

Калибровка

Предоставить отчет о калибровке

Имя

Технические характеристики

Диапазон калибровки температуры

16-70℃

Абсолютная точность измерительного модуля

≤ 10,5 1мК@1Гц/канал

Годовой дрейф измерительного модуля

≤10、5、1мК

Количество каналов измерения

4. 8, 16, 32, 120 вариантов на выбор

Частота дискретизации

Регулируемая, максимум ≥ 10 Гц/канал

Ток возбуждения

≤10 мкА

Индикатор работы/неисправности

Да

Одноканальное независимое управление

Да

Вход

4-проводной NTC

Интерфейс связи

ЛВС/RS485/USB

Протокол связи

Модбус РТУ

Формат данных

Машинное время - значение температуры соответствующего канала

Функция записи времени работы оборудования

Имеется внутренняя тактовая частота, и когда частота сбора данных

менее 1 Гц, ошибка времени составляет ≤ 0,1 с

Интерфейс датчика температуры

Авиационная вилка

Программное обеспечение

Поддержка программного обеспечения для сбора данных DAQ

Источник питания

Адаптер переменного тока 220 В