Измерение температуры пластины с помощью NTC-термографа непосредственно на месте с использованием проводного метода.
)
Система измерения температуры пластин NTC с использованием проводного датчика обеспечивает высокоточные и надежные методы измерения и мониторинга температуры пластин, что позволяет повысить производительность, качество и выход годной продукции технологического оборудования.
Технические характеристики
Имя | Технические характеристики |
Номинальное сопротивление | 10 кОм, 5 кОм при 25℃ |
Диапазон температур (℃) | 0-100℃ |
Точность измерения (мК) | Способность достигать ±0,01℃, ±0,001℃ |
Точность повторения (мК) | Способен достигать температуры <0,01℃, <0,002℃ |
Проволока | 4-проводной |
Размер вафли | 4, 6, 8 и 12 дюймов |
Количество точек измерения температуры (штук) | Выбираемый |
Точечное распределение | Среднее распределение или в соответствии с требованиями пользователя. |
Толщина (мм) | 0,725 |
Вакуумный проходной механизм | Плоский полиимидный кабель, выдерживающий давление от атмосферного до 10⁻⁷ Торр. Длина определяется заказчиком. |
Длина провода L1 | 2, 3, 5, 10 (м), может быть изготовлено на заказ. |
Главный клеммный разъем | Разъем DB или авиационный штекер |
Калибровка | Предоставить сертификат самокалибровки ZHICE-ELEC. |
Программное обеспечение для измерения температуры
ZCDAQ TEMP точно собирает и анализирует данные о температуре пластин и может обеспечивать многоточечное измерение температуры. Программное обеспечение визуализирует распределение и изменение температуры с помощью графиков и предоставляет встроенные аппаратные и программные решения.
Высокоточные температурные модули
Технические характеристики
Имя | Технические характеристики |
Диапазон температур (℃) | 0-100℃ |
Точность измерения (мК) | Может достигать ±0,01℃, ±0,001℃ |
Точность повторения (мК) | Может достигать температуры <0,01℃, <0,002℃ |
Разрешение измерения (мК) | 0,001℃, 0,0001℃ |
Количество измерительных каналов (штук) | 8, 18, 32, 48 и т. д. — на выбор |
Частота выборки | 1 Гц |
Ток возбуждения (мкА) | ≤10 |
Работа/неисправность индикаторная лампочка | Да |
Управление, не зависящее от одного канала | Да |
Вход | 4-проводной терморезистор 10 кОм |
Интерфейс связи | LAN/RS485/USB |
Протокол связи | Modbus RTU |
Интерфейс датчика температуры | Разъем DB или авиационный штекер |
Программное обеспечение для сбора и регистрации температуры | ZCDAQ Wafer: сбор, запись, анализ и создание тепловых карт. |
Источник питания | AC220В/50Гц |
Читайте дальше, следите за обновлениями, подписывайтесь, и мы будем рады узнать ваше мнение.
Авторские права
@ 2026 Хэфэй Чжице Электроникс Ко., Лтд.. Все права защищены
. Карта сайта
/ блог
/ XML / политика конфиденциальности
ПОДДЕРЖИВАЕМАЯ СЕТЬ
