Термическая проверка
Дом

Измерение температуры проводной пластины in situ

TC WAFER Измерение температуры проводной пластины на месте

TC WAFER Измерение температуры проводной пластины на месте

Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.

TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.

новые продукты
  • информация о продукте

Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.

TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.

 

Программное обеспечение для измерения температуры

ZCDAQ TEMP точно собирает и анализирует данные о температуре пластин, предоставляет решения для многоточечного измерения температуры, визуализирует распределение температуры и диаграммы тенденций. ZCDAQ TEMP предоставляет встроенные аппаратные и программные решения, которые могут измерять пластины любого размера и до 68 каналов входов термопар.

 

Высокоточные температурные модули

12-канальная миниатюрная розетка температуры модуль

Функции

  • Миниатюрное гнездовое соединение

  • Максимальная температура 12-канальной термопары измерение

  • Независимое от канала управление переключателем

  • Индикация эксплуатационных сбоев

  • Порты связи RJ45, RS485, USB, Bluetooth

  • Протокол связи Modbus

  • Поддержка стандартного монтажа на рейку

  • Программируемый адрес модуля, скорость передачи данных, сетевой порт и т. д.

  • Источник питания переменного тока 220 В/24 В постоянного тока

 

Модуль температуры с разъемом D-sub 17x4

Функции

  • Интегрированное терминальное соединение DB37

  • Измерение температуры до 68 каналов

  • Независимое от канала управление переключателем

  • Индикация эксплуатационных сбоев

  • Порты связи LAN, RS485, USB, Bluetooth

  • Протокол связи Modbus

  • Поддержка стандартного монтажа на рейку

  • Программируемый адрес модуля, скорость передачи данных, сетевой порт и т. д.

  • Источник питания переменного тока 220 В/24 В постоянного тока

 

Технические характеристики

Имя

12-канальный миниатюрный модуль температуры розетки

Модуль температуры с разъемом D-sub 17x4

Модель

Прецизионный температурный модуль/TC/MPJ*12

Прецизионный температурный модуль/TC/DB17

Тип датчика температуры

Термопара типа К

Термопара типа Т

Термопара типа К

Термопара типа Т

Измерение температуры диапазон

-270~1372℃

-270~400

-270~1372

-270~400

Точность измерения

±1,1℃±0,1% показаний

±0,6℃±0,1% показаний

±1,1℃±0,1% показаний

±0,5℃±0,1% показаний

Разрешение измерения

≤0,01

≤0,01

Количество измерений каналы

12

17*1, 17*2, 17*3, 17*4 (опционально и расширяемо)

Частота дискретизации

≥1 Гц/на канал

≥1 Гц/на канал

Индикатор работы/сбоя

Да

Да

Датчик температуры интерфейс

MPJ Миниатюрная розетка для термопары

DB37(17CH)

Сетевой интерфейс

RJ45

RJ45

USB-порт

USB типа B

USB типа B

Порт RS485

Терминал

Терминал

Bluetooth

Bluetooth5.0

Bluetooth5.0

Протокол связи

Модбус

Модбус

Прикладное программное обеспечение

Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных,

запись, статистический анализ

Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных,

запись, статистический анализ

Власть(В)

≤3 Вт

≤3 Вт

Источник питания(В)

220 В переменного тока/24 В постоянного тока (можно выбрать)

220 В переменного тока/24 В постоянного тока (можно выбрать)

Интерфейс питания

Электрическая розетка переменного тока/терминал DC3*7,62 мм

Электрическая розетка переменного тока/терминал DC3*7,62 мм

Режим установки

Дополнительная установка стандартной направляющей 35 мм.

Дополнительная установка стандартной направляющей 35 мм.

Справочный размер модуля(мм)

188*160*56(Д*Ш*В)

188*160*56(Д*Ш*В)

 

Диапазон температур:-50-350℃/-50-700℃/-50-1200℃

Тип термопары:Т-тип/К-тип

Точность:±0,5℃±0,1% показаний

Диаметр проволоки:0,127、0,254мм

Точки тестирования:1~68

Вести:Настраиваемый

Ограничение: Силиконовый клей/сварной

Завершение провода:DB37, мини-штекер

Материал пластины:Кремниевая пластина, сапфир, карбид кремния и т. д. (форма и размер подложки могут быть изменены)

Размер вафли:50 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм

Вакуумное проходное соединение: Полиимидный ввод, атмосферное давление может достигать 10-7Торр (длина определяется заказчиком)

ГОРЯЧИЕ ТЕГИ :
оставить сообщение
Если вы заинтересованы в нашей продукции и хотите узнать более подробную информацию, пожалуйста, оставьте сообщение здесь, мы ответим вам, как только сможем.
представлять на рассмотрение

сопутствующие товары

RTD Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement
RTD Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement
Instrumented wafers are used in semiconductor processing equipment where it is critical to understand and control the temperature at the wafer surface.
NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement
NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Measurement
NTC Wafer In Situ Wired Wafer Temperature Me asurement system provides high-precision and reliable wafer temperature measurement and monitoring methods to improve process equipment performance, quality and yield.
TC WAFER Измерение температуры проводной пластины на месте
TC WAFER Измерение температуры проводной пластины на месте
Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.
Подпишитесь на нашу рассылку

Пожалуйста, читайте дальше, оставайтесь в курсе, подписывайтесь, и мы приглашаем вас рассказать нам, что вы думаете.

представлять на рассмотрение
Hefei Zhice Electronics Co., Ltd., основанная в 2003 году, является высокотехнологичным предприятием и «специализированным, специализированным и инновационным» предприятием провинциального уровня. Компания расположена в промышленном парке науки и технологий Национальной зоны промышленного развития высоких технологий в городе Хэфэй.

Авторские права @ 2024 Хэфэй Чжице Электроникс Ко., Лтд.. Все права защищены . Карта сайта / блог / XML / политика конфиденциальности ПОДДЕРЖИВАЕМАЯ СЕТЬ

оставить сообщение

оставить сообщение
Если вы заинтересованы в нашей продукции и хотите узнать более подробную информацию, пожалуйста, оставьте сообщение здесь, мы ответим вам, как только сможем.
представлять на рассмотрение

Дом

Продукты

WhatsApp

контакт