TC WAFER Измерение температуры проводной пластины на месте
)
)
)
Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.
TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.
Инструментированные пластины используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. at поверхность пластины.
TC пластина на месте Wнанятый Tтемпература Mизмерение Sсистемы обычно использовал для такие применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), постэкспозиционный отжиг (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD), ИОН имплантация, солнечные элементы и многие другие процессы, связанные с теплом.
Программное обеспечение для измерения температуры
ZCDAQ TEMP точно собирает и анализирует данные о температуре пластин, предоставляет решения для многоточечного измерения температуры, визуализирует распределение температуры и диаграммы тенденций. ZCDAQ TEMP предоставляет встроенные аппаратные и программные решения, которые могут измерять пластины любого размера и до 68 каналов входов термопар.
Высокоточные температурные модули
12-канальная миниатюрная розетка температуры модуль
Функции
Миниатюрное гнездовое соединение
Максимальная температура 12-канальной термопары измерение
Независимое от канала управление переключателем
Индикация эксплуатационных сбоев
Порты связи RJ45, RS485, USB, Bluetooth
Протокол связи Modbus
Поддержка стандартного монтажа на рейку
Программируемый адрес модуля, скорость передачи данных, сетевой порт и т. д.
Источник питания переменного тока 220 В/24 В постоянного тока
Модуль температуры с разъемом D-sub 17x4
Функции
Интегрированное терминальное соединение DB37
Измерение температуры до 68 каналов
Независимое от канала управление переключателем
Индикация эксплуатационных сбоев
Порты связи LAN, RS485, USB, Bluetooth
Протокол связи Modbus
Поддержка стандартного монтажа на рейку
Программируемый адрес модуля, скорость передачи данных, сетевой порт и т. д.
Источник питания переменного тока 220 В/24 В постоянного тока
Технические характеристики
Имя | 12-канальный миниатюрный модуль температуры розетки | Модуль температуры с разъемом D-sub 17x4 | ||
Модель | Прецизионный температурный модуль/TC/MPJ*12 | Прецизионный температурный модуль/TC/DB17 | ||
Тип датчика температуры | Термопара типа К | Термопара типа Т | Термопара типа К | Термопара типа Т |
Измерение температуры диапазон | -270~1372℃ | -270~400℃ | -270~1372℃ | -270~400℃ |
Точность измерения | ±1,1℃±0,1% показаний | ±0,6℃±0,1% показаний | ±1,1℃±0,1% показаний | ±0,5℃±0,1% показаний |
Разрешение измерения | ≤0,01 | ≤0,01 | ||
Количество измерений каналы | 12 | 17*1, 17*2, 17*3, 17*4 (опционально и расширяемо) | ||
Частота дискретизации | ≥1 Гц/на канал | ≥1 Гц/на канал | ||
Индикатор работы/сбоя | Да | Да | ||
Датчик температуры интерфейс | MPJ Миниатюрная розетка для термопары | DB37(17CH) | ||
Сетевой интерфейс | RJ45 | RJ45 | ||
USB-порт | USB типа B | USB типа B | ||
Порт RS485 | Терминал | Терминал | ||
Bluetooth | Bluetooth5.0 | Bluetooth5.0 | ||
Протокол связи | Модбус | Модбус | ||
Прикладное программное обеспечение | Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных, запись, статистический анализ | Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных, запись, статистический анализ | ||
Власть（В） | ≤3 Вт | ≤3 Вт | ||
Источник питания（В） | 220 В переменного тока/24 В постоянного тока (можно выбрать) | 220 В переменного тока/24 В постоянного тока (можно выбрать) | ||
Интерфейс питания | Электрическая розетка переменного тока/терминал DC3*7,62 мм | Электрическая розетка переменного тока/терминал DC3*7,62 мм | ||
Режим установки | Дополнительная установка стандартной направляющей 35 мм. | Дополнительная установка стандартной направляющей 35 мм. | ||
Справочный размер модуля（мм） | 188*160*56(Д*Ш*В) | 188*160*56(Д*Ш*В) | ||
Диапазон температур:-50-350℃/-50-700℃/-50-1200℃
Тип термопары:Т-тип/К-тип
Точность:±0,5℃±0,1% показаний
Диаметр проволоки:0,127、0,254мм
Точки тестирования:1~68
Вести:Настраиваемый
Ограничение: Силиконовый клей/сварной
Завершение провода:DB37, мини-штекер
Материал пластины:Кремниевая пластина, сапфир, карбид кремния и т. д. (форма и размер подложки могут быть изменены)
Размер вафли:50 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм
Вакуумное проходное соединение: Полиимидный ввод, атмосферное давление может достигать 10-7Торр (длина определяется заказчиком)
Пожалуйста, читайте дальше, оставайтесь в курсе, подписывайтесь, и мы приглашаем вас рассказать нам, что вы думаете.
Авторские права
@ 2024 Хэфэй Чжице Электроникс Ко., Лтд.. Все права защищены
. Карта сайта
/ блог
/ XML / политика конфиденциальности
ПОДДЕРЖИВАЕМАЯ СЕТЬ
