TC WAFER Измерение температуры пластины с помощью проводного датчика in situ
)
)
)
Измеренные параметры кремниевых пластин используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру. atповерхность пластины.
TC Wafer In SituWразгневан Tтемпература Mизмерение SСистемы являются обычно использовал для такие области применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), последующая термообработка (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD). ИОН имплантация, солнечные батареи и многие другие процессы, работающие за счет тепла.
Измеренные параметры кремниевых пластин используются в оборудовании для обработки полупроводников, где крайне важно понимать и контролировать температуру.atповерхность пластины.
TC Wafer In SituWразгневанTтемператураMизмерениеSСистемы являютсяобычноиспользовалдлятакие области применения, как быстрая термическая обработка (RTP), быстрый термический отжиг (RTA), последующая термообработка (PEB), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD).ИОНимплантация, солнечные батареи и многие другие процессы, работающие за счет тепла.
Программное обеспечение для измерения температуры
ZCDAQ TEMP точно собирает и анализирует данные о температуре пластин, предоставляет решения для многоточечного измерения температуры, визуализирует распределение температуры и графики трендов. ZCDAQ TEMP предлагает встроенные аппаратные и программные решения, позволяющие измерять температуру пластин любого размера и до 68 каналов термопарных входов.
Высокоточные температурные модули
12-канальный миниатюрный датчик температуры разъемамодуль
Функции
Миниатюрное розеточное соединение
Максимальная температура 12-канального термоэлементаизмерение
Управление переключателем, не зависящее от канала
Индикация эксплуатационной неисправности
Порты связи: RJ45, RS485, USB, Bluetooth
протокол связи Modbus
Поддержка стандартного крепления на направляющую.
Адрес программируемого модуля, скорость передачи данных,сетевой порт и т. д.
Источник питания переменного тока 220 В/постоянного тока 24 В
Модуль измерения температуры с разъемом D-sub 17x4
Функции
Встроенный клеммный разъем DB37
Измерение температуры до 68 каналов
Управление переключателем, не зависящее от канала
Индикация эксплуатационной неисправности
Порты связи: LAN, RS485, USB, Bluetooth.
протокол связи Modbus
Поддержка стандартного крепления на направляющую.
Адрес программируемого модуля, скорость передачи данных,сетевой порт и т. д.
Источник питания переменного тока 220 В/постоянного тока 24 В
Технические характеристики
Имя | 12-канальный миниатюрный модуль измерения температуры разъема | Модуль измерения температуры с разъемом D-sub 17x4 | ||
Модель | Модуль точного измерения температуры/TC/MPJ*12 | Модуль точного измерения температуры/TC/DB17 | ||
Тип датчика температуры | Термопара типа К | Термопара Т-типа | Термопара типа К | Термопара Т-типа |
Измерение температурыдиапазон | -270~1372℃ | -270~400℃ | -270~1372℃ | -270~400℃ |
Точность измерений | ±1,1℃±0,1% показаний | ±0,6℃±0,1% показаний | ±1,1℃±0,1% показаний | ±0,5℃±0,1% показаний |
Разрешение измерения | ≤0,01 | ≤0,01 | ||
Количество измеренийканалы | 12 | 17*1, 17*2, 17*3, 17*4 (опционально и с возможностью расширения) | ||
Частота выборки | ≥1 Гц/на канал | ≥1 Гц/на канал | ||
Индикатор работы/сбоя | Да | Да | ||
Температурный датчикинтерфейс | Миниатюрный разъем для термопары MPJ | DB37 (17CH) | ||
Сетевой интерфейс | RJ45 | RJ45 | ||
USB-порт | USB Type-B | USB Type-B | ||
порт RS485 | Терминал | Терминал | ||
Bluetooth | Bluetooth 5.0 | Bluetooth 5.0 | ||
Протокол связи | Модбус | Модбус | ||
Прикладное программное обеспечение | Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных, запись, статистический анализ | Программное обеспечение для сбора данных DAQ, сбор данных, запись, статистический анализ | ||
Власть(W) | ≤3 Вт | ≤3 Вт | ||
Источник питания(V) | AC220V/DC24V (можно выбрать) | AC220V/DC24V (можно выбрать) | ||
Интерфейс питания | Розетка переменного тока / Клемма постоянного тока 3*7,62 мм | Розетка переменного тока / Клемма постоянного тока 3*7,62 мм | ||
режим установки | Возможна установка стандартной направляющей рейки диаметром 35 мм (опционально). | Возможна установка стандартной направляющей рейки диаметром 35 мм (опционально). | ||
Размер эталонного модуля(мм) | 188*160*56 (Д*Ш*В) | 188*160*56 (Д*Ш*В) | ||
Диапазон температур:-50-350℃/-50-700℃/-50-1200℃
Тип термопары:Т-типа/К-типа
Точность:показания ±0,5℃±0,1%
Диаметр проволоки:0,127, 0,254 мм
Контрольные точки:1~68
Вести:Настраиваемый
Ограничение: Силиконовый клей/сварка
Завершение проводки:DB37, мини-штекер
Материал вафли:Кремниевые пластины, сапфир, карбид кремния и т. д. (форма и размер подложки могут быть изготовлены на заказ).
Размер пластины:50 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм
Вакуумная подача: Полиимидный проходной кабель, атмосферное давление может достигать 10⁻⁷ Торр (длина указывается заказчиком).
Читайте дальше, следите за обновлениями, подписывайтесь, и мы будем рады узнать ваше мнение.
Авторские права
@ 2026 Хэфэй Чжице Электроникс Ко., Лтд.. Все права защищены
. Карта сайта
/ блог
/ XML / политика конфиденциальности
ПОДДЕРЖИВАЕМАЯ СЕТЬ
